・ガスに含まれる異物を除去する機器です。
・ 出入口形状は、メタルシール接続継手の高純度機器用のインラインフィルタです。
・ 最大使用圧力20MPa で濾過度の高いエレメント(2μ,5μ,10μ)を使用しています。
・ メタルガスケットタイプN-Ⅲの場合、メスナット・グランドは、
メタルガスケットジョイント「G-joint」(ヤマト産業オリジナル)となります。
形式 | IF-GMO1-2 |
---|---|
本体材質 | ステンレス(SUS316) |
使用ガス | O2(酸素) N2(窒素) Ar(アルゴン) Air(空気) H2(水素) He(ヘリウム) CO2(炭酸ガス) |
一次側圧力(MPa) | 20 |